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碳化硅
碳化硅部件

碳化硅部件簡(jiǎn)介

在材料產(chǎn)品中,CVD-SiC是頗具成長(cháng)性的產(chǎn)品,該產(chǎn)品可作為半導體生產(chǎn)設備的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1結合構成的一種化合物,其硬度僅次于鉆石和碳化硼。Ferrotec應用含有硅和碳的氣體即CVD工藝法來(lái)進(jìn)行制造。以硅片為例,采用CVD法將碳化硅涂覆在加工成圓盤(pán)狀的石墨基材表面,切削外緣后,通過(guò)高溫氧化除去石墨基材,再經(jīng)過(guò)數道后續加工,硅片就完成了。在能源等高端產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,碳化硅這種高純度材料受到越來(lái)越多的關(guān)注。
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耐熱性
耐熱性
化學(xué)穩定性
化學(xué)穩定性
抗氧化性
抗氧化性
碳化硅部件的特性
Ferrotec SiC部件產(chǎn)品具有較高的抗氧化性、化學(xué)穩定性和耐熱性,具備在2000度高溫時(shí)也可保持穩定的優(yōu)良特性。它們被廣泛地應用于半導體材料的制造過(guò)程中需要的晶圓舟、管和代替硅片的仿真晶圓,也廣泛運用于高溫時(shí)使用的夾具產(chǎn)品。在半導體生產(chǎn)設備、汽車(chē)領(lǐng)域、能源領(lǐng)域等領(lǐng)域有廣泛應用。
應用場(chǎng)景
  • 半導體生產(chǎn)設備
    半導體生產(chǎn)設備
  • 汽車(chē)領(lǐng)域
    汽車(chē)領(lǐng)域
  • 能源領(lǐng)域
    能源領(lǐng)域
半導體生產(chǎn)設備
汽車(chē)領(lǐng)域
能源領(lǐng)域
半導體生產(chǎn)設備
半導體生產(chǎn)設備
汽車(chē)領(lǐng)域
汽車(chē)領(lǐng)域
能源領(lǐng)域
能源領(lǐng)域
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應用之矩陣圖
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地