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噴淋頭
Shower head
噴淋頭
噴淋頭Shower head
噴淋頭,被廣泛應用半導體集成電路制造過(guò)程中的PVD、CVD、PECVD、刻蝕等工藝流程中,是各類(lèi)氣體分配過(guò)程中的關(guān)鍵零部件。
產(chǎn)品具有高精度、高清潔度、多重-復合表面處理(如噴砂/陽(yáng)極氧化/刷鍍鎳/電解拋光等集一體)等特征。
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噴淋頭產(chǎn)品手冊
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聯(lián)系電話(huà): 0571-86699985
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生產(chǎn)能力
生產(chǎn)能力
機加工能力:公司規劃不同尺寸的高精度加工設備140余臺,分為三期投產(chǎn)。機加工精度可控制在2微米以?xún)?、可?shí)現多品種、多規格的SHower head的批量性生產(chǎn)加工;
檢測能力:公司具備多種高精密檢測設備,包括三坐標、影像儀、平面儀等,提供快速高效的檢測手段,同時(shí)可實(shí)現各品種的逆向開(kāi)發(fā)工程。
焊接能力:公司具備全類(lèi)型的焊接設備,可實(shí)現電子書(shū)焊接、攪拌摩擦焊接、擴散焊接、真空釬焊接,并且具備焊接缺陷分析能力。
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Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應用之矩陣圖
真空技術(shù)相關(guān)
噴淋頭

半導體制造過(guò)程中的PVD、CVD、PECVD、刻蝕等工藝流程

該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地