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噴淋頭
Shower head
噴淋頭
噴淋頭Shower head
噴淋頭,被廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體集成電路制造過程中的PVD、CVD、PECVD、刻蝕等工藝流程中,是各類氣體分配過程中的關(guān)鍵零部件。
產(chǎn)品具有高精度、高清潔度、多重-復(fù)合表面處理(如噴砂/陽極氧化/刷鍍鎳/電解拋光等集一體)等特征。
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噴淋頭產(chǎn)品手冊
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聯(lián)系電話: 021-31340912
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生產(chǎn)能力
生產(chǎn)能力
機(jī)加工能力:公司規(guī)劃不同尺寸的高精度加工設(shè)備140余臺,分為三期投產(chǎn)。機(jī)加工精度可控制在2微米以內(nèi)、可實現(xiàn)多品種、多規(guī)格的SHower head的批量性生產(chǎn)加工;
檢測能力:公司具備多種高精密檢測設(shè)備,包括三坐標(biāo)、影像儀、平面儀等,提供快速高效的檢測手段,同時可實現(xiàn)各品種的逆向開發(fā)工程。
焊接能力:公司具備全類型的焊接設(shè)備,可實現(xiàn)電子書焊接、攪拌摩擦焊接、擴(kuò)散焊接、真空釬焊接,并且具備焊接缺陷分析能力。
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P2
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Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應(yīng)用之矩陣圖
真空技術(shù)相關(guān)
噴淋頭

半導(dǎo)體制造過程中的PVD、CVD、PECVD、刻蝕等工藝流程

該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地