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磁流體真空密封傳動(dòng)裝置
Vacuum transmission
磁流體真空密封轉動(dòng)裝置
Ferrotec - 密封領(lǐng)域的全球領(lǐng)導者
磁流體真空傳動(dòng)裝置是把旋轉運動(dòng)傳入真空容器的一種部品解決方案,杜絕了氣體泄漏和污染,適用于對密封要求很高的場(chǎng)合。如今,在許多需要自由控制進(jìn)給的裝置上,真空傳動(dòng)裝置已得到廣泛應用,如在硅生長(cháng)、目標位置電子指示器、濺射、等離子蝕刻、化學(xué)氣相淀積、離子移置技術(shù)、液晶再生過(guò)程中,減少了不必要的停機時(shí)間,具有特殊意義。
磁流體真空傳動(dòng)裝置
從半導體到FPD、LED,太陽(yáng)能電池等各種制造設備領(lǐng)域,Ferrotec的真空傳動(dòng)裝置以苛刻環(huán)境中良好的密封性能而得到好評。 我們致力于為客戶(hù)提供多種類(lèi)型的真空密封裝置,真空旋轉密封裝置,密封組件和密封件的集成,以及真空環(huán)境下密封傳動(dòng)問(wèn)題的解決方案。
多軸密封傳動(dòng)裝置
多軸密封傳動(dòng)裝置
多軸密封傳動(dòng)裝置主要為機械手而設計,這類(lèi)產(chǎn)品廣泛應用于半導體的加工和生產(chǎn),同時(shí)我們也有10-8Torr的超高真空用密封裝置。
集成電機磁流體真空傳動(dòng)裝置
集成電機磁流體真空傳動(dòng)裝置
Ferrotec提供的FerroDrive集成電機磁流體真空傳動(dòng)裝置將一個(gè)密封Ferrofluidic真空磁流體、一個(gè)高精度電機以及控制器集成起來(lái),為客戶(hù)提供一件緊湊且高性能的密封旋轉系統。這種設計根除了客戶(hù)在聯(lián)接分立部件時(shí)遭遇到的整合挑戰以及潛在的機械故障點(diǎn)。同軸驅動(dòng)磁流體裝置經(jīng)典應用領(lǐng)域包括:MOCVD、薄膜產(chǎn)業(yè)、光學(xué)鍍膜、離子束沉積、離子束刻蝕、物理氣相沉積、離子濺射、離子注入以及任何需要應用電機的場(chǎng)合,特別是需要伺服電機的場(chǎng)合。
空心軸密封傳動(dòng)裝置
空心軸密封傳動(dòng)裝置
空心軸密封傳動(dòng)裝置有一個(gè)卡箍,它通過(guò)0型圈密封把用戶(hù)軸和密封裝置的轉軸連在一起。運用的典型例子就是濺射設備,其中例如電子、中性子或離子的注入用旋轉單元、旋轉物架以及X射線(xiàn)和光學(xué)機器??招妮S密封傳動(dòng)裝置有通孔型、法蘭型等,也可以按照用戶(hù)的要求進(jìn)行特殊設計或不帶卡箍。
實(shí)心軸密封傳動(dòng)裝置
實(shí)心軸密封傳動(dòng)裝置
我們有多重實(shí)心軸傳動(dòng)裝置,例如:微型、通孔型、法蘭型、重負載型,適用于各種場(chǎng)合。除小徑的轉軸外,轉軸的動(dòng)力裝配部和用戶(hù)安裝部的形狀有標準的鍵槽以外,還能根據用戶(hù)的要求,設計、制造多重配合形式,如扁平面、螺紋連接、孔連接等。我們的標準公制密封傳動(dòng)裝置也有適用于高溫、重負載、高速場(chǎng)合時(shí)的水冷形式(除一些微型、通孔型磁性流體密封裝置以外)
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聯(lián)系電話(huà): 0571-86699985
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磁流體真空傳動(dòng)裝置特性
密封圈特性
磁性流體包圍整個(gè)轉軸,成為一個(gè)隔絕空氣、水氣、煙霧等元素的密封圈,幾乎無(wú)泄漏,密封圈的泄漏微弱到無(wú)法測量,甚至使用質(zhì)譜儀也無(wú)法測量(1*10-11torre/sec)
長(cháng)壽命特性
“液體0型密封圈”由一個(gè)穩定的磁性流體構成,其裝置可以長(cháng)期使用10年無(wú)需維修。
良好可靠性
密封圈由永磁結構和穩定的磁性流體組成,所以機械磨損僅發(fā)生在軸承上。
無(wú)污染特性
因為密封圈無(wú)磨損,沒(méi)有微粒產(chǎn)生,降低了整個(gè)系統的污染而且低的氣壓可使密封圈便于維修,其真空度可控制在8-10Torr。
最佳的力矩
傳輸特性
力矩可100%的輸送,保證一個(gè)無(wú)阻礙的單項運動(dòng)。
低阻尼和
高速旋轉能力
磁性流體極低的粘滯阻力和磁性流體進(jìn)給裝置無(wú)需接觸密封圈的結構,決定了他的穩定操作和高速轉動(dòng)。
磁流體真空傳動(dòng)裝置定制
當因產(chǎn)品開(kāi)發(fā)遇到技術(shù)瓶頸的時(shí)候,也許一個(gè)前所未有的真空傳動(dòng)裝置就能助力度過(guò)難關(guān)。Ferrotec(中國)以客戶(hù)為中心,我們的設計和制造能力能夠保證根據客戶(hù)的要求設計出適用于客戶(hù)應用環(huán)境的產(chǎn)品。
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應用之矩陣圖
真空技術(shù)相關(guān)
磁流體真空密封傳動(dòng)裝置

硅生長(cháng);

MOCVD;

薄膜產(chǎn)業(yè);

離子束沉積;

離子束刻蝕;

物理氣相沉積;

離子濺射;

離子注入;

液晶再生過(guò)程;

離子移置技術(shù);

真空鍍膜設備;

硅生長(cháng);

MOCVD;

薄膜產(chǎn)業(yè);

離子束沉積;

離子束刻蝕;

物理氣相沉積;

離子濺射;

離子注入;

液晶再生過(guò)程;

離子移置技術(shù);

真空鍍膜設備;

光纖預制棒氣相沉積裝備;

真空燒結;

光纖拉絲裝備

新能源電池制造裝備;

CT;

MRI核磁共振;

其它

該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地