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半導(dǎo)體相關(guān) 真空技術(shù)相關(guān) 熱電致冷相關(guān) 整機(jī)裝備

精密石英精密陶瓷硅熔接和硅精制品系列石英坩堝單晶爐精密洗凈半導(dǎo)體硅片功率半導(dǎo)體載板磁性流體碳化硅碳化硅襯底片冷水機(jī)chiller系列

磁流體真空密封傳動(dòng)裝置 OEM非標(biāo)裝配服務(wù) 電子束蒸發(fā)器金屬加工噴淋頭

熱電半導(dǎo)體致冷器

工業(yè)洗滌設(shè)備通用機(jī)械設(shè)備和源刀具

市場

集成電路顯示面板光纖通信能源電子電動(dòng)汽車/高鐵家電醫(yī)療

技術(shù)

大硅片技術(shù) 新材料技術(shù) 熱管理技術(shù) 真空腔體制造技術(shù) 精密洗凈技術(shù)

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單晶爐

Thermoelectric semiconductor cooler

Ferrotec（中國）單晶爐

在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將保存在石英坩堝內(nèi)的多晶硅等多晶材料高溫熔化，再將籽晶放入變成液體的硅溶液里按自動(dòng)程序用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備, 可控制整體裝料量，全自動(dòng)控制拉晶過程, 全面數(shù)字化管理，采用中央集中控制系統(tǒng),減少了人為因素的參與，保證質(zhì)量穩(wěn)定性。

單晶爐分類

Ferrotec（中國）自主研發(fā)的半導(dǎo)體用單晶爐，采用龍門式框架結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定性好剛性強(qiáng)，驅(qū)動(dòng)裝置采用電動(dòng)、氣動(dòng)方式，光軸潤滑采用自潤滑軸承，避免油脂污染，全自動(dòng)控制拉晶過程，嵌入長晶控制系統(tǒng)，整合功率器件用超低電阻率單晶量產(chǎn)技術(shù)，采用超導(dǎo)體磁場，可拉制8/12英寸晶棒。不同型號(hào)的單晶爐在設(shè)備運(yùn)作效率、機(jī)械部件結(jié)構(gòu)等方面各有差異。

太陽能級(jí)單晶爐FT-CZ1200PV

硅材料級(jí)單晶爐FT-CZ1200Si/1400Si

半導(dǎo)體級(jí)單晶爐FT-CZ1200SE/1400SE

人性化設(shè)計(jì)

管理、操作及維護(hù)方便性

全自動(dòng)、安全性、均一性

穩(wěn)定、潔凈

Ferrotec單晶爐優(yōu)點(diǎn)

穩(wěn)定、潔凈；全自動(dòng)、安全性、均一性；管理、操作及維護(hù)方便性；人性化設(shè)計(jì)。焊接工藝符合日本JIS標(biāo)準(zhǔn)，柔性設(shè)計(jì)具備雙重防爆安全系數(shù)，特別增加安全泄壓閥及提升防爆系統(tǒng)；遠(yuǎn)程控制插口可實(shí)現(xiàn)對(duì)多臺(tái)設(shè)備的集中監(jiān)控和管理；各操作參數(shù)及制程階段人機(jī)界面觸摸屏可實(shí)時(shí)顯示并修改。