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新品上線丨壓縮機式低溫型冷水機FCCWS051
2025-04-30

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      FCCWS051-7402系列冷水機是由FerroTec熱電事業(yè)部自主研發(fā)的壓縮機式低溫型冷水機。這款產(chǎn)品能夠滿足實驗室研究、醫(yī)療行業(yè)、工業(yè)應用、電子元器件、汽車、光通訊、航天航空、半導體行業(yè)蝕刻裝置,CMP、模具溫控等多領域應用;為不同工藝步驟提供穩(wěn)定、精確的溫度控制,從而確保半導體器件的質量和性能。


一、產(chǎn)品細節(jié)圖

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二、產(chǎn)品特性

01 溫度范圍

   能夠根據(jù)客戶的具體應用場景提供從-20℃到80℃的循環(huán)液溫度,覆蓋廣泛的工業(yè)應用需求。


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02 高精度溫度控制

    內置熱敏電阻(RTD,電阻溫度探測器)實時監(jiān)控進出液口的循環(huán)液溫度確保在使用溫度范圍內精度高達±0.1℃。此外,機器搭載溫度補償功能,能夠保證長距離輸送情況下循環(huán)液的溫度精度,提供穩(wěn)定可靠的溫度控制。

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03 精確控制系統(tǒng)性能

     內置流量計和壓力傳感器(來自東京計裝),通過旁通閥精確調節(jié)循環(huán)液流量和壓力。所有實時數(shù)據(jù)均可在機器屏幕上顯示,便于用戶監(jiān)控和調整。

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04 高效冷卻

    實驗室測試表明:設備在輸出-20℃循環(huán)液時最高制冷量可達4kW,循環(huán)液流量可維持在25L/min,確保高效穩(wěn)定的冷卻效果。

05 智能化控制程序

    設備可實現(xiàn)PID自動調整功能,每一階溫度段都能快速達到溫度穩(wěn)定狀態(tài)。

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06 遠程操控

     支持remote/local模式切換,客戶可以通過控制電腦直接進行遠程操控和監(jiān)測,提高管理便利性。

07 適應復雜應用場景

     經(jīng)過優(yōu)化的內部循環(huán)液管路設計,實現(xiàn)長距離配管和高低落差應用。在40米配管和高落差下,只需要1分鐘左右就能完成補液和空氣排氣。同時縮短了內部管路長度,在保證機器美觀的同時提升了能量使用效率。

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08 節(jié)能減排

     溫控器的壓縮機和水泵均為變頻設計,可根據(jù)實際使用場景動態(tài)調整功率,實現(xiàn)節(jié)能降耗。冷凍循環(huán)系統(tǒng)使用的冷媒為R410A,臭氧破壞系數(shù)為0。

09 高清潔度

     出廠前經(jīng)過多次精細清洗,確保管路清潔無污染,客戶可直接投入使用。機器自帶過濾器,有效防止后續(xù)使用中污染物進入客戶端,保障系統(tǒng)的長期穩(wěn)定運行。

10 配備過濾減壓閥

    設備配備了SMC的過濾減壓閥,確保在使用完成后能夠快速、徹底地排盡管路內的循環(huán)液,簡化維護流程。

11 獲得SEMI認證

    設備通過了SEMI認證,符合半導體行業(yè)對冷卻設備的高標準要求。在穩(wěn)定性、精準控制、清潔度、可靠性和環(huán)境適應性等方面均表現(xiàn)出色,尤其適用于半導體制造、激光設備、精密儀器等高端應用領域。

12 多種安全功能

    設備擁有完善的安全防護結構和功能,包括過溫保護、無液保護、低液位保護、泵過載保護、低流量保護、漏液保護、傳感器異常保護、制冷系統(tǒng)過載保護及緊急停機保護等功能,確保用戶操作的安全性和可靠性。

13 支持產(chǎn)品定制

    設備內部設計支持定制,便于實現(xiàn)客戶的實際需求,滿足不同的應用場景。