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漢虹12英寸半導體單晶爐:創(chuàng )新鑄就輝煌,榮譽(yù)再度加冕!
2024-05-28

    在這個(gè)科技進(jìn)步飛速的時(shí)代,每一項創(chuàng )新都是對未來(lái)的堅定探索!上海漢虹精密機械有限公司的“12英寸半導體單晶爐”項目,憑借其卓越表現,斬獲由國家科技主管單位權威認證、中國發(fā)明學(xué)會(huì )精心設置的“發(fā)明創(chuàng )業(yè)項目獎”銀獎殊榮,這是對技術(shù)革新能力的高度贊譽(yù),也是產(chǎn)學(xué)研緊密結合、追求高質(zhì)量發(fā)展的亮麗標志!

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    在激烈競爭中,漢虹的12英寸半導體單晶爐自2248個(gè)項目中嶄露頭角,經(jīng)過(guò)嚴格篩選與評審,與全球前沿創(chuàng )新成果比肩,共繪科技創(chuàng )新的宏偉圖景。


    這一榮耀,緊接著(zhù)“第34屆上海市杰出發(fā)明選拔賽金獎”及“第六屆中國(上海)國際發(fā)明創(chuàng )新博覽會(huì )金獎”之后,漢虹再次以其實(shí)力書(shū)寫(xiě)輝煌,有力證明了中國半導體裝備制造行業(yè)的蓬勃興起!

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    2022年12月,12英寸半導體單晶爐從眾多創(chuàng )新成果中脫穎而出,一舉摘得“優(yōu)秀發(fā)明金獎”這一殊榮。該獎項由上海市總工會(huì )、上海市知識產(chǎn)權局、共青團上海市委員會(huì )、上海市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì )及上海發(fā)明協(xié)會(huì )等多家權威機構聯(lián)袂頒發(fā),其含金量不言而喻,是對獲獎技術(shù)在創(chuàng )新性、實(shí)用性和行業(yè)引領(lǐng)價(jià)值上的高度認可。

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    12英寸半導體單晶爐在國際發(fā)明創(chuàng )新展覽會(huì )上榮膺金獎,這一榮譽(yù)不僅是對技術(shù)創(chuàng )新力的高度認可,更是全球范圍內該領(lǐng)域高水平的標志。該展覽盛會(huì )由商務(wù)部、科技部、國家知識產(chǎn)權局和上海市政府共同主辦,聯(lián)合國工業(yè)發(fā)展組織、聯(lián)合國開(kāi)發(fā)計劃署、世界知識產(chǎn)權組織支持,是我國首個(gè)集技術(shù)展示和交易服務(wù)為一體的國家級、國際性、綜合性展會(huì )。 

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漢虹12英寸半導體單晶爐:超越局限,引領(lǐng)前行之路!

-1 技術(shù)躍進(jìn)-

采用先進(jìn)32英寸大尺寸熱場(chǎng)設計,結合GSim熱模擬技術(shù),熱場(chǎng)結構革新,效率與節能并舉;

-2 純凈優(yōu)化-

內置智能真空排氣系統,自動(dòng)化去除氧化物,確保生產(chǎn)流程更純凈;

-3 工藝革新-

獨有氣囊密封技術(shù)及水平開(kāi)閉真空水冷旋板閥,解決工藝氣體控制難點(diǎn),確保晶體直徑恒定,降低不良品產(chǎn)出;

-4 雙層防護-

創(chuàng )新雙層水冷套系統,強化冷卻效能同時(shí)有效清除氧化物,促進(jìn)晶體更優(yōu)成長(cháng);

-5 精確控制-

德國高精度激光液口距檢測反饋控制系統,液面到熱屏距離精控誤差僅±0.5mm,為拉晶過(guò)程保駕護航;

-6 精妙升降-

應用高精度升降機模組驅動(dòng),實(shí)現四軸同步升降的磁場(chǎng)裝置,確保穩定無(wú)振動(dòng),無(wú)異響,提升操作的可靠性;

-7 自動(dòng)校準-

一體化重錘籽晶夾頭裝置,創(chuàng )新錐面接合設計,大幅提升籽晶與夾頭的貼合度,提升工作效率和產(chǎn)品品質(zhì),保證安裝可靠性和一致性。