在這個(gè)科技進(jìn)步飛速的時(shí)代，每一項(xiàng)創(chuàng)新都是對(duì)未來(lái)的堅(jiān)定探索！上海漢虹精密機(jī)械有限公司的“12英寸半導(dǎo)體單晶爐”項(xiàng)目，憑借其卓越表現(xiàn)，斬獲由國(guó)家科技主管單位權(quán)威認(rèn)證、中國(guó)發(fā)明學(xué)會(huì)精心設(shè)置的“發(fā)明創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目獎(jiǎng)”銀獎(jiǎng)殊榮，這是對(duì)技術(shù)革新能力的高度贊譽(yù)，也是產(chǎn)學(xué)研緊密結(jié)合、追求高質(zhì)量發(fā)展的亮麗標(biāo)志！
在激烈競(jìng)爭(zhēng)中，漢虹的12英寸半導(dǎo)體單晶爐自2248個(gè)項(xiàng)目中嶄露頭角，經(jīng)過(guò)嚴(yán)格篩選與評(píng)審，與全球前沿創(chuàng)新成果比肩，共繪科技創(chuàng)新的宏偉圖景。
這一榮耀，緊接著“第34屆上海市杰出發(fā)明選拔賽金獎(jiǎng)”及“第六屆中國(guó)（上海）國(guó)際發(fā)明創(chuàng)新博覽會(huì)金獎(jiǎng)”之后，漢虹再次以其實(shí)力書(shū)寫(xiě)輝煌，有力證明了中國(guó)半導(dǎo)體裝備制造行業(yè)的蓬勃興起！
2022年12月，12英寸半導(dǎo)體單晶爐從眾多創(chuàng)新成果中脫穎而出，一舉摘得“優(yōu)秀發(fā)明金獎(jiǎng)”這一殊榮。該獎(jiǎng)項(xiàng)由上海市總工會(huì)、上海市知識(shí)產(chǎn)權(quán)局、共青團(tuán)上海市委員會(huì)、上海市科學(xué)技術(shù)協(xié)會(huì)及上海發(fā)明協(xié)會(huì)等多家權(quán)威機(jī)構(gòu)聯(lián)袂頒發(fā)，其含金量不言而喻，是對(duì)獲獎(jiǎng)技術(shù)在創(chuàng)新性、實(shí)用性和行業(yè)引領(lǐng)價(jià)值上的高度認(rèn)可。
12英寸半導(dǎo)體單晶爐在國(guó)際發(fā)明創(chuàng)新展覽會(huì)上榮膺金獎(jiǎng)，這一榮譽(yù)不僅是對(duì)技術(shù)創(chuàng)新力的高度認(rèn)可，更是全球范圍內(nèi)該領(lǐng)域高水平的標(biāo)志。該展覽盛會(huì)由商務(wù)部、科技部、國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局和上海市政府共同主辦，聯(lián)合國(guó)工業(yè)發(fā)展組織、聯(lián)合國(guó)開(kāi)發(fā)計(jì)劃署、世界知識(shí)產(chǎn)權(quán)組織支持，是我國(guó)首個(gè)集技術(shù)展示和交易服務(wù)為一體的國(guó)家級(jí)、國(guó)際性、綜合性展會(huì)。
漢虹12英寸半導(dǎo)體單晶爐：超越局限，引領(lǐng)前行之路！
-1 技術(shù)躍進(jìn)-
采用先進(jìn)32英寸大尺寸熱場(chǎng)設(shè)計(jì)，結(jié)合GSim熱模擬技術(shù)，熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)革新，效率與節(jié)能并舉；
-2 純凈優(yōu)化-
內(nèi)置智能真空排氣系統(tǒng)，自動(dòng)化去除氧化物，確保生產(chǎn)流程更純凈；
-3 工藝革新-
獨(dú)有氣囊密封技術(shù)及水平開(kāi)閉真空水冷旋板閥，解決工藝氣體控制難點(diǎn)，確保晶體直徑恒定，降低不良品產(chǎn)出；
-4 雙層防護(hù)-
創(chuàng)新雙層水冷套系統(tǒng)，強(qiáng)化冷卻效能同時(shí)有效清除氧化物，促進(jìn)晶體更優(yōu)成長(zhǎng)；
-5 精確控制-
德國(guó)高精度激光液口距檢測(cè)反饋控制系統(tǒng)，液面到熱屏距離精控誤差僅±0.5mm，為拉晶過(guò)程保駕護(hù)航；
-6 精妙升降-
應(yīng)用高精度升降機(jī)模組驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)四軸同步升降的磁場(chǎng)裝置，確保穩(wěn)定無(wú)振動(dòng)，無(wú)異響，提升操作的可靠性；
-7 自動(dòng)校準(zhǔn)-
一體化重錘籽晶夾頭裝置，創(chuàng)新錐面接合設(shè)計(jì)，大幅提升籽晶與夾頭的貼合度，提升工作效率和產(chǎn)品品質(zhì)，保證安裝可靠性和一致性。